반경 방향 그라디언트 굴절률(GRIN) 렌즈 두께의 정확한 측정을 위해 편심으로 인한 반경 GRIN 렌즈 두께 측정 오차에 대해 연구하였다. 스펙트럼 공초점 두께 측정 시스템의 작동 원리를 소개하고, 반경 GRIN 렌즈의 광선 경로 방정식을 데카르트 좌표계에서 광학 라그랑주 함수, 광선 호 미분 방정식 등과 결합하여 반경 GRIN 렌즈 두께 측정 모델을 구축하였다. 그 다음, 반경 GRIN 렌즈의 편심으로 인한 스펙트럼 곡선 피크 이동과 이로 인한 두께 측정 오차에 대해 이론 연구 및 시뮬레이션 분석을 수행하였으며, 정밀 이동대를 이용해 GRIN 렌즈를 구동하여 편심을 모사하는 실험 플랫폼을 구축하여 편심 영향 하의 두께 측정을 완료하였다. 실험 결과, 반경 GRIN 렌즈의 편심 정도가 클수록 측정 오차가 커지고, 축 방향 측정 위치의 영향은 무시할 수 있음을 확인하여 이론 분석의 정확성을 검증하였다; 실제 두께가 4.0126 mm인 GRIN 렌즈는 편심 보정 후 두께 측정 오차가 4.6 μm로, 스펙트럼 공초점법이 반경 GRIN 렌즈 두께의 정밀한 측정을 실현할 수 있음을 검증하였다.

스펙트럼 공초점법;두께 측정;반경 그라디언트 굴절률 렌즈;편심;피크 이동