집적회로 내부 전기 신호 파형의 비접촉 검출을 실현하기 위해, 공통 광로 간섭계를 기반으로 한 탐지 광로를 설계하였으며, 위상 고정 증폭 기술의 강력한 잡음 억제 능력과 높은 감도를 활용하여 반사 광에 포함된 미약한 장치 전기광 신호를 추출하는 위상 고정 증폭 기반 신호 처리 방법을 제안하였다. 이 방법은 장치 전기 신호의 주기적 변화에 따른 장치 전기광 신호 강도의 특성을 이용하여, 먼저 광전 검출기에서 나오는 전기 신호를 위상 고정 증폭 처리하여 대부분의 잡음을 제거한 후, 평균 처리 기술을 이용해 외부 잡음 간섭을 추가로 억제하여 장치 전기광 신호의 신호 대 잡음비를 향상시켜, 잡음에 묻힌 장치 전기광 신호를 추출하고 장치 내부의 전기 정보를 재구성한다. 이 탐지 방법을 이용하여 칩 내부의 μA 단위 동적 작동 전류를 가지는 회로 노드 전기광 신호를 성공적으로 검출하였으며, 신호 대 잡음비는 4.99 dB에 달했으며, 평균 처리 기술만 이용했을 때 신호 대 잡음비는 -44.29 dB였다. 연구 내용은 집적회로 내부 전기 신호의 광학적 탐지에 새로운 아이디어를 제공하며, 향후 집적회로 동적 결함 검출 분야에 응용될 수 있다.

집적회로;위상 고정 증폭;전기광 탐침;전기광 신호