차세대 대규모 분광 탐사 측정 프로젝트는 더 작고 고정밀의 광섬유 위치 결정 유닛을 필요로 한다. 본 논문은 R-<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mi>θ</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/D968A12D-E7F1-4c36-A0B8-3BDD63271C36-M001.jpg"/><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/D968A12D-E7F1-4c36-A0B8-3BDD63271C36-M001c.jpg"/></alternatives></inline-formula>형태 광섬유 위치 결정 유닛의 R 메커니즘 정밀 위치 결정 부문 설계안을 제안한다. 적층형 압전 세라믹과 유연한 힌지형 지렛대 변위 확대 메커니즘을 결합하여 R 메커니즘 정밀 위치 결정 부분의 위치 정밀도를 실현하였다. 위치 결정 정밀도에 대한 히스테리시스 비선형 영향 최소화를 위해 클래식 Preisach 모델을 채택하여 확대한 후 출력 변위 구동 모델을 구축하고 이에 기반한 최적화를 진행했다. 최종 구축된 정밀 위치 결정 변위 모델의 평균 오차는 4 μm 이내로, 최대 40 μm의 비선형 오차에 비해 오류가 크게 감소되었다. 실험 결과는 Preisach 모델을 기반으로 구축한 변위 모델이 정밀 위치 결정 정확도를 더욱 향상시켰으며, 정밀 위치 결정의 오차 설계 요구를 충족함과 동시에 후속 조정 위치 결정에 더 큰 설계 공간을 남겼음을 보여준다.

광섬유 위치 결정 유닛; 압전 세라믹; 증폭 메커니즘; 정밀 위치 결정; Preisach 모델