우리나라의 고출력 레이저 장치 건설 및 엔지니어링 과제에 따른 고출력 레이저 박막 부품의 수요에 기반하여, 박막 손상 메커니즘에 대한 이해를 바탕으로 동제대학교는 "전 공정 정량화" 결함 제어 레이저 박막 제작 방식을 제안하였다. 동제대학교는 구조와 성질이 제어 가능한 인공 미소 구체를 사용하여 정량적 인공 결함을 제작하고, 기판 가공, 초음파 세척, 전기장 시뮬레이션 및 조절, 증착 재료와 공정 선택, 증착 후 후처리, 레이저 전처리, 전달 및 보관 등 요인이 박막 부품의 레이저 손상 특성과 손상 규칙에 미치는 영향을 체계적으로 연구하였다. 손상 형태와 손상 규칙으로부터 결절 결함 전기장 강화 이론 모델의 정확성이 입증되었으며, 연구자들의 결절 결함 손상 메커니즘 인식이 심화되었고, 박막 손상 성능 향상을 위한 새로운 방법이 제안되었으며, 신규 소재가 창출되어 환경 안정성, 스펙트럼 특성 및 손상 특성을 모두 고려한 다기능 고출력 레이저 박막 제작이 실현되어 우리나라 고출력 레이저 장치 건설 및 레이저 기술 발전을 강력히 지원하였다.

레이저 박막; 레이저 손상; 결절; 인공 결함; 전기장 강화