摘要
고분광 성능 광학 박막은 국가 주요 광학 공정과 광전자 산업의 초석입니다. 광학 박막의 광학적 성능을 향상하고 정밀 제조 기술을 개발하기 위해 기존 연구는 주로 설계 개념, 모니터링 기술 및 박막 재료에 집중되어 있습니다. 현재 박막 기술은 큰 진전을 이루어 고분광 성능 광학 박막의 강건한 설계가 가능하며, 여러 고분광 성능 광학 박막 기반의 정밀 제조 기술이 제안되고 있습니다. 본문은 박막 설계, 정밀 제조 기술, 박막 재료 측면에서 현대 고분광 성능 광학 박막 연구를 검토하고 논의하며, 고성능 광학 박막의 잠재적 도전 과제와 향후 연구 방향을 전망합니다.
关键词
광학 박막 및 장치; 강건 설계; 광학 모니터링; 박막 제조; 컴퓨터 제조
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