극자외선-진공자외선 고성능 박막 광학 소자의 개발은 천문학, 재료과학, 물리학 등 여러 학문 분야에서 중요한 의미를 갖습니다. 본 논문은 톈지 대학교 정밀 광학 공학 기술 연구소에서 고성능 극자외선-진공자외선 박막 광학 소자의 최신 연구 성과를 주로 소개합니다. 극자외선-진공자외선 파장대(10~200 nm)에서 박막 반사경, 박막 단색기 및 박막 편광기의 연구 결과를 보여줍니다. 다양한 사용 요구와 환경에 맞추어 박막 내부 미세구조의 종합적인 특성 분석과 그 물리화학적 메커니즘 연구를 수행하였으며, 완전한 극자외선-진공자외선 박막 광학 소자 특성화, 최적화, 제조 기술 체계를 구축하여 박막 소자의 균일성, 반사 효율, 대역폭, 안정성 및 편광도 등의 핵심 성능을 효과적으로 향상시켰습니다. 고성능 극자외선-진공자외선 박막 광학 소자 개발 기술은 중국의 대규모 지상 과학 장비 및 우주 천문 관측 장비에 강력한 지원을 제공할 것입니다.

극자외선-진공자외선; 박막 소자; 균일성; 협대역; 안정성; 고반사 효율