초저손실 레이저 박막은 중력파 탐지, 광 원자 시계, 광 공동 감쇠 분광 등 정밀 측정 분야에서 중요한 응용을 가지고 있다. 레이저 공진기의 공동 길이 안정성과 전체 광학 손실은 측정 시스템의 감도와 신호 대 잡음비를 결정한다. 박막 재료, 제조 공정 및 검사 기술의 발전으로 박막 광학 손실 제어와 열 잡음 연구에서 상당한 진전을 이루었다. 광학 손실 측면에서 박막 흡수는 10^-6 이하 수준으로 제어할 수 있으며, 박막 산란이 광학 손실의 주요 요인이 되었다. 본 논문은 결함 유발 산란과 계면 산란 두 측면에서 박막 산란 제어에 대한 연구 방안과 성과를 정리하였다. 광학 인자 설계 및 계면 전력 스펙트럼 밀도 조절을 통해 박막 계면 산란을 감소시키고, 결절 결함 유발 산란의 이론 분석 모델을 구축하여 그 물리적 메커니즘을 밝히고 결함 유발 산란 제어 기술을 제안하였다. 열 잡음 연구에서는 주로 박막 기계적 손실의 물리적 메커니즘을 소개하고, 박막 재료 체계 최적화를 통해 반사 박막의 기계적 손실을 감소시키며, 박막 기계적 손실 특성화 방법을 지속적으로 개선하고 있다.

레이저 박막; 계면 산란; 결절 결함; 기계적 손실