摘要
극자외선 정입사 광학 시스템은 생체 구조 현미경 이미지, 플라즈마 진단, 태양 물리 관측 및 극자외선 리소그래피 등 분야에서 널리 사용되며, 심층 연구가 매우 중요합니다. 본 논문은 동일 대학 정밀광학공학연구소의 극자외선 정입사 광학 시스템 분야 최신 연구 성과를 소개하고, 과열전자 진단, 미소/나노 이미징, 극자외선 조사 손상 및 Z 수축 플라즈마 진단 등 다양한 상황에 적용된 여러 정입사 광학 시스템을 열거합니다. 이 시스템들은 각각 해당 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘하였는데, 밀리미터급 시야 내 마이크로미터급 공간 해상도, 수십 마이크로미터 시야 내 서브마이크로미터급 초고해상도, 대수치구경 하의 초고에너지 밀도 극자외선 조사 및 다중 에너지 지점 다중 채널 시공간 진단을 구현하였습니다. 연구소의 극자외선 정입사 광학 시스템 연구 진전은 중국 플라즈마 진단 장비의 자주 제어 및 첨단 제조 장비 기술 축적에 강력한 지원을 제공합니다.
关键词
극자외선; 다층막; Schwarzschild 시스템; 플라즈마 진단; 이미징 시스템; 집속 시스템
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