摘要
극자외선 및 X선은 미시 물질 인식과 거시 공간 탐사를 위한 고정밀 관측 수단을 제공하지만, 이러한 관측을 실현하려면 대량의 고정밀 광학 반사 부품의 지원이 필요합니다. 극자외선과 X선은 광학 표면에서 산란이 더 쉽게 발생하기 때문에 광학 반사경 기판의 정밀도 요구사항과 제작 기술이 장파 부품과 뚜렷이 다릅니다. 최근 몇 년간, 톈지 대학교 정밀 광학 공학 기술 연구소는 극자외선 및 X선 반사 부품 기판의 초정밀 가공 및 검출 플랫폼을 구축하고, 초매끄러운 비구면 이온 빔 성형 기술을 개발했으며, 제르니크 다항식을 기반으로 한 무작위 오프축 회전 절대 검출 방법을 제안하였고, 극자외선 및 X선 광학용 반사경 기판의 고정밀 전 공정 연구 기술을 확립하였으며, 해당 기술을 국내외 단파 광학 대형 과학 장치에 성공적으로 적용하였습니다. 본 논문은 본 연구팀이 극자외선 및 X선용 반사경 제작 분야에서 이룬 연구 진전을 종합적으로 검토합니다.
关键词
초정밀 가공;극자외선;X선;반사경 기판;비구면 부품;절대 검출
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