摘要
초단파 초강력 자유전자 레이저 등의 광원 적용과 함께 극자외선 및 X선 대역의 박막 반사경의 내방사선 성능이 주목받고 있습니다. 본 논문에서는 IPOE 실험실에서 구축한 나노초 극자외선 조사 손상 장치를 소개하고, 극자외선-X선 자유전자 레이저에 널리 사용되는 B4C 박막 반사경, Au 및 Ru 금속 단일층 박막 반사경, B4C/Ru 이중층 박막 반사경 및 극자외선 리소그래피용 Mo/Si 다층 박막 반사경에 대한 조사 손상 시험을 수행하여 다양한 재료 및 구조의 박막 반사경의 내손상 성능을 확보하였으며, 이론적 시뮬레이션을 통해 열융해, 열응력 및 막층 간 확산 반응 등의 손상 기전의 역할을 밝혔습니다.
关键词
극자외선;박막 반사경;내손상 성능;손상 기전
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website