摘要
정밀 X선 진단 기술 개발은 관성구속융합(ICF) 물리 프로세스 연구에 중요한 의미를 갖는다. 본 논문은 동제대학교 정밀광학공학기술연구소에서 고성능 다층박막 섞어서 입사 X선 광학 분야의 최신 진전을 비교적 포괄적으로 소개한다. ICF의 고시공간 분해능, 에너지 분해능 및 높은 집광 효율 진단 요구에 맞춰 다채널 섞어서 입사 X선 영상 기술, 다층박막 섞어서 입사 X선 영상 기술 및 응용 효과 측면에서 현재 연구 진척 상황을 체계적으로 소개한다. 다채널 섞어서 입사 X선 영상에서는 고해상도 다채널 KB 영상 시스템과 고정밀 온라인 조정 기술을 주로 소개한다. 공간 분해능 5 μm 이하, 16채널 영상 실현을 기반으로 "물체-진단 물체 렌즈-영상" 고복원 정밀 통합 표시 기술을 채택해 다채널 KB 시스템 장치 응용 효과를 효과적으로 보장한다. 다층박막 섞어서 입사 X선 영상에서는 주로 다층박막 분광 장치의 에너지 스펙트럼 제어 및 제조 기술과 시스템 정밀 조준 기술을 소개한다. 현재 다층박막 배열 장치 기반 다중 스펙트럼 X선 진단 장치가 레이저 장치에 폭넓게 적용되고 있으며 공간 분해능은 3~5 μm, 진단 에너지 점은 4개에 달하며 기술 지표는 해외 동종 장치보다 뛰어나 국내 ICF 진단에 강력한 지원을 제공한다.
关键词
관성구속융합;플라스마 진단;다층막;커크패트릭-베즈 현미경;고시공간 분해능
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