摘要
X선 다층막은 싱크로트론 방사 및 자유전자 레이저, 천문 관측, 플라즈마 진단 등 대형 과학 장비 및 실험실 분석 장비에서 중요한 광학 부품으로, X선을 고효율로 반사하며 단색화 및 편광화 등의 조절을 구현할 수 있습니다. 본 연구팀은 약 20년간 X선 다층막의 설계, 제작 및 특성 평가 방법에 대해 체계적이고 심층적인 연구를 수행하였으며, 연한 X선과 단단한 X선의 다양한 파장대에서 작동하는 고성능 다층막을 일련 개발하여 반사율이 국제 선진 수준에 도달했습니다; 자성 스퍼터링 기술을 기반으로 대형 사사선 입사 X선 다층막 코팅 플랫폼을 구축하였으며, 최대 코팅 크기는 1.2m, 균일도는 0.5% 이내(RMS 값)로 우수합니다. 제작된 단단한 X선 다층막 반사경은 국내외 대형 과학 장비에 성공적으로 적용되었으며; 다층막과 반사 격자를 결합하여 초고효율 단단한 X선 다층막 격자 부품을 혁신적으로 개발하였는데, 기존 단일막 격자에 비해 단단한 X선 회절 효율을 최대 40배 향상시킬 수 있습니다. 본 문서에서는 연구팀의 X선 다층막 부품 분야 연구 진척을 간략히 소개합니다.
关键词
X선 다층막; 반사율; 대형 반사 부품; 다층 광격자
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