특수 평행광원 안정성 제어 요구에 대응하여 진동미러 기반의 레이저 출력 안정성 제어 방법을 제안한다. 석영판을 진동미러에 연결 고정하고 입사 광각과 투과율 관계를 신호 조절 원리로 사용한다. 진동미러가 석영판을 회전시킬 때 석영판을 통과하는 광 신호 세기를 조절한다. 프레넬 법칙에 기반하여 평판 유리의 회전 각도와 투과율 매개변수를 분석하고 회전 각도 범위 등의 매개변수를 검증하여 광원의 출력 안정성을 위한 출력 매개변수를 제공한다. 모니터링 피드백 탐지기를 이용하여 실시간 데이터 모니터링 및 피드백을 수행한다. PID 알고리즘을 통해 모니터 탐지기 신호와 기준 조절 출력 전압 간의 오차를 조절하여 진동미러 출력 각도를 정밀하게 제어한다. 본 출력 안정기를 사용하여 He-Ne 632.8 nm 레이저에 대해 출력 안정성 실험을 수행하고 Trap 탐지기를 이용한 출력 검증 실험을 진행하였다. 실험 결과 레이저의 출력 안정성은 다음과 같다: 제어 후 표준 편차 C_V는 0.016% (1800 초), 피크-투-피크 변동 S_V는 ±0.042% (1800 초)를 기록하였다. 피크-투-피크 변동 S_V는 레이저 자유 운전 시의 약 1/8.79로 감소했으며, 표준 편차 C_V는 1/13.76 개선되어 안정성이 크게 향상되었다.

레이저 출력 안정; 진동미러; 프레넬 법칙; 피드백 제어