우주 기상 경보를 위해 태양-지구 공간 물리 과정을 모니터링할 필요가 있으며, 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 필터는 극자외선 이미징 장비의 중요한 구성 요소로서 태양 복사 스펙트럼 중 작업 파장이 아닌 방사선을 제거하는 역할을 한다. 본 논문에서는 17.1 nm 파장에서 EUV 필터의 투과율을 최적화하기 위해 비어-램버트 법칙을 기반으로 이론 계산 및 소프트웨어 시뮬레이션을 통해 17.1 nm EUV 필터의 재료와 두께를 결정하였다. 먼저 진공 열증발 방법으로 용융 석영 기판 위에 박리층과 금속 박막을 증착하여 니켈 그리드 지지 구조의 EUV 필터를 성공적으로 제작하였다. 테스트 결과, 필터는 17.1 nm에서 약 43.81%의 투과율을 보였으며 표면은 매끄럽고 균일하며 뚜렷한 구멍이 없었다. 다음으로 산화층이 투과율에 미치는 영향을 설명하기 위해 타원 편광 분광기를 사용하여 필터 샘플을 측정하고, 서로 다른 시간 동안 방치된 산화층 두께를 얻었으며, 투과율 시뮬레이션 최적화를 위해 거칠기도 측정하였다. IMD를 이용하여 산화층 두께와 거칠기를 맞춰 실제 측정값과 가장 근접한 곡선을 도출하였다. 실험 결과 필터 투과율의 시뮬레이션 값과 측정 값 간 절대 오차가 약 1%로 양호한 결과를 보였다. 본 논문은 17.1 nm EUV 필터의 제작 방법과 최적화 방안을 제공하며 우주 탐사 분야에서 중요한 응용 가치를 갖는다.

금속 박막;필터;그리드 지지;극자외선;산화층