미세 자기 부품 조립 장비의 정밀 조립 작업을 구현하고 가공 오류 및 설치 오류로 인한 시스템 정밀도 손실을 보완하기 위해 자동 교정 및 오차 보정 방법을 제안하였다. 장비 배치 형식에 따라 다양한 모듈의 좌표계를 설정하고 조립 정밀도에 영향을 미치는 모든 오차 매개변수를 추출하였다. 가이드 레일의 위치 관계에 따라 모듈 간 운동 변환 모델을 구축하고, 조립 작업 기반의 오차 보정 모델을 유도하였다. 장비 내 머신 비전 시스템을 측정 도구로 사용하고 전용 교정판을 설계하였다. 각 모듈의 운동 전후 특성점 좌표 변화를 관찰하여 오차 매개변수를 측정 및 식별하고, 입자 군집 알고리즘을 사용하여 매개변수를 전역 최적화하였다. 개발된 자동 교정 소프트웨어를 기반으로 조립 구역에서 교정 및 검증 실험을 수행하였다. 실험 결과, 보정 후 시스템 개루프 제어 정밀도가 6 μm 이내로 장비의 조립 정밀도 요구 사항을 충족함을 나타냈다. 이 방법은 미세 부품 조립 장비에 자동화되고 고정밀 및 고효율의 교정 솔루션을 제공한다.

미세 조립 장비;자동 교정;입자 군집 최적화;오차 보정