연마 입자의 미세 파쇄는 결합된 연마 패드의 연삭 성능에 영향을 미치는 주요 요인으로, 바인더의 구성과 강도가 미세 파쇄 거동에 영향을 미친다. 효율적인 연삭 가공을 위해 다양한 조성의 실리콘계 바인더 집합체 연마 입자 제조 공정 및 그 연삭 가공 성능을 탐구하였다. 840 ℃, 880 ℃, 920 ℃의 온도에서 실리콘 함량이 다른 바인더를 사용하여 집합체 다이아몬드 연마 입자를 제조하고 미세 구조를 관찰하였으며, 이를 사용하여 결합된 연마 패드를 제조하였다. 7 kPa, 14 kPa, 21 kPa 연삭 압력 하에서 결합된 실리콘계 집합체 연마 패드의 K9 유리 연삭 성능을 비교하였다. 바인더 내 실리콘 함량이 높을수록, 소결 온도가 높을수록 바인더 충진이 균일하고 기공 분포가 합리적이며, 집합체 연마 입자의 미세 파쇄가 더 뚜렷하여 가공 성능이 향상된다; 21 kPa 연삭 압력에서 바인더 내 실리콘 함량이 가장 높고 소결 온도가 920 ℃인 실리콘계 집합체 다이아몬드 연마 입자로 제조한 친수성 결합 연마 패드가 K9 유리 연삭 효율이 가장 높았으며, 재료 제거율은 63.32 μm/min, 표면 거칠기 R_a 값은 0.515 μm였다. 결합된 실리콘계 집합체 다이아몬드 연마 패드를 사용하여 K9 광학 유리의 고효율 연삭을 실현할 수 있다.

고효율 연삭;결합 연마 패드;집합체 다이아몬드;실리콘계 바인더