구면 렌즈의 곡률 반경 측정 정확도를 향상시키기 위해 5차원 자세 모니터링 및 조정을 기반으로 한 차동 공초점 곡률 반경 고정밀도 측정 방법을 제안한다. 측정 대상 시료를 회전시키면서 검출기에서 측정 대상의 공초점 경로를 모니터링하고, 측정 대상의 구 중심과 측정 광축 사이의 편심 오차를 측정하며, 자세 조정 시스템과 결합하여 편심 오차를 자동 보상하여 측정 과정에서 측정 대상 구 중심이 측정 광축과 일치하도록 한다. 이를 통해 측정 시료 구 중심의 축 이탈로 인한 측정 코사인 오차를 제거하고, 매번 장착 시 발생하는 시료 자세 오차가 측정 정확도에 미치는 영향을 제거한다. 이론 계산과 예비 실험 결과, 이 방법은 곡률 반경의 상대 반복 측정 정밀도(RMS)가 3.2×10^{-6}에 달할 수 있음을 보여준다. 이 방법은 곡률 반경 반복 측정 정밀도를 크게 향상시켜 곡률 반경의 정밀 측정을 위한 효과적인 방법을 제공한다. 동시에, 이 방법은 렌즈 중심 편심, 초점 거리, 두께, 렌즈 그룹 간 간격 등 다양한 매개변수의 고정밀 측정을 위한 효과적인 방법도 제공한다.

곡률 반경;레이저 차동 공초점;5차원 자세 모니터링;5차원 자세 조정;코사인 오차