전시야 외차 동적 간섭계는 측정 정밀도가 높고 간섭 저항 능력이 뛰어난 장점을 가지며, 긴 초점 거리 면형의 동적 간섭 측정과 대구경 광학부품의 측정에 적합합니다. 그러나 간섭계 시스템 내부 광학 부품의 성능이 이상적이지 않거나 부품 조립에 오류가 있을 경우 간섭 광로 내에 주파수 혼진(믹싱)이 발생하여 간섭계의 측정 정밀도에 영향을 미칩니다. 혼진이 전시야 외차 동적 간섭계 측정 정밀도에 미치는 영향을 분석하기 위해 혼진의 발생 원인에서 출발하여 혼진으로 인한 측정 오차의 이론 모델을 구축하고 혼진 정도가 측정 정밀도에 미치는 영향을 분석하였습니다. 분석 결과 측정 오차는 혼진 정도와 비선형적 양의 상관관계를 가지며, 혼진은 간섭선과 동일한 주파수의 주기적 오차가 측정된 면형 결과에 중첩됨을 나타냈습니다. 전시야 외차 동적 간섭 측정 실험 시스템을 구축하여 서로 다른 혼진 정도가 면형 측정 정밀도에 미치는 영향을 검증하였으며, 혼진 정도가 0.029일 때 면형 측정 오차는 0.053λ, 혼진 정도가 0.120일 때 면형 측정 오차는 0.110λ로 시뮬레이션 분석 결과와 일치하였습니다. 본 연구는 고정밀 전시야 외차 동적 간섭계 개발에 실질적인 의의가 있습니다.

간섭 측정;전시야 외차;혼진;측정 오차