평행도 오차 보상 기반 다채널 이중 크리스털 단색기 운동 제어

HE Siyu ,  

LU Haolin ,  

FENG Zhao ,  

XIAO Xiaohui ,  

摘要

신형 다채널 이중 크리스털 단색기 시스템이 결정판 평행도 오차로 인해 성능 저하 문제가 발생하는 문제를 해결하기 위해, 반복 학습 모델 예측 제어기(Iterative Learning Model Predictive Control, ILMPC) 전략을 제안한다. 이 전략은 주-종 축 결정판 평행도 오차를 종 축 모터의 반복 참조 운동 경로로 변환하고, ILC를 사용하여 주기적인 기계적 설치 오차를 제거하며, MPC를 활용해 단일 회전 주기 내 종 축 모터의 무작위 오차를 억제한다. 최종적으로 단축 모터 운동 실험 플랫폼에서 해당 전략으로 궤적 추종 검증을 수행했다. 실험 결과에 따르면 결정판의 유효 작업 영역 내에서 종 축 모터 위치 추종 오차가 1.44″에 도달했으며, PID 제어, MPC, DOB+MPC 및 ILC+PID 복합 제어기 전략과 비교하여 각각 99.64%, 98.52%, 98.26%, 73.33% 감소되었다. 연구 결과는 제안된 ILMPC 전략이 결정판 평행도 오차 보상 및 평행 정렬 정확도 향상에 효과적임을 검증했으며, 이 전략은 신형 다채널 이중 크리스털 단색기 성능 개선에 실질적 응용 가치를 제공한다.

关键词

운동 제어; 반복 학습 제어; 모델 예측 제어; 다채널 이중 크리스털 단색기

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website