빔 지향 안정화 시스템은 빔 위치와 각도 제어를 기반으로 하여 빔 지향의 고정밀 능동 제어를 실현하며, 마이크로·나노 노광 및 초해상도 영상 등 분야에서 중요한 역할을 합니다. 빔의 장시간 지향 안정화를 달성하기 위해 분리형 제어 소형 빔 지향 안정화 시스템이 제안되었으며, 기존 방식에서 이중 반사경 보정으로 인한 결합 오차를 제거하여 빔 지향 정밀도 제어 성능을 크게 향상시켰습니다. 비교 시험 결과 본 방법에 기반한 빔 지향 안정화 시스템은 빔 위치 안정 정밀도(RMS 값)가 0.3 μm에 도달하며 각도 안정 정밀도(RMS 값)는 1 μrad에 달함을 보였습니다; 일정한 크기의 능동 교란을 가한 시험 결과, 해당 시스템은 큰 광원 떨림 하에서도 동일한 수준의 안정 정밀도를 유지할 수 있음을 나타냈습니다. 동일 시험 조건에서 두 상용 빔 지향 안정화 시스템과 비교할 때 위치 떨림 및 각도 떨림 성능이 50% 이상 향상되었습니다.

빔 안정화; 고정밀 보정; 고정밀 각도 검출; 오차 분리 기술