측정 지연이 있는 피에조 나노 플랫폼 축 간 주기적 결합 보상 문제, 특히 고속 스캐닝 격자 응용에서 복잡한 역모델 해석이 필요 없는 강인한 주기 간섭 관측 제어 전략을 제안한다. 플랫폼 시스템의 동적 거동을 설명하기 위해 피에조 플랫폼의 전기기계 다중 교란 모델을 구축하였다. 이를 기초로 주기 간섭 관측 제어 구조를 구성하였다. 도출된 성능 최적화 함수와 강인 안정성 조건을 통해 최적 제어기 파라미터 해결 문제를 지연 시스템의 혼합 감도 최적화 문제로 변환하였으며, 무한 차원 H^∞ 제어 방법으로 해석하였다. 마지막으로 피에조 나노 플랫폼에서 종합적인 실험 연구를 수행하였다. 결과는 구축된 동적 모델이 플랫폼의 실험 응답을 효과적으로 근사할 수 있음을 보여준다; 간섭 관측기가 없는 방법 및 전통적인 주기 간섭 관측 제어 방법과 비교할 때, 제안된 강인 최적화 방법은 기본 주파수에서의 간섭 저항 성능을 각각 99% 이상 및 50% 향상시켰다. 제안된 강인 주기 간섭 제어 방법은 우수한 간섭 저항 및 불확실성 보상 성능을 가진다.

피에조 마이크로 구동 플랫폼; 결합 보상; 동적 모델링; 주기 간섭 관측기; 지연; H^∞ 최적화