WO3 나노시트 기반 자가 전원 자외선 검출기의 제작 및 성능

ZHU Jianhua ,  

ZHOU Qicheng ,  

HAO Liping ,  

SUN Yu ,  

GAO Shiyong ,  

摘要

외부 전원 없이 장시간 자외선 검출을 실현하기 위해 WO3 나노시트를 기반으로 자가 전원 특성을 가진 자외선 검출기가 제작되었다. 수열법을 사용하여 FTO 유리 기판 위에 WO3 나노시트 배열이 성공적으로 제조되었고 SEM, XRD 등의 방법으로 시료가 분석되었다. 연구 결과, 길이 약 2 μm, 두께 약 200 nm의 단사정계 WO3 나노시트가 균일하고 치밀하게 성장하여 기판 전체 표면을 덮고 있음이 확인되었다. 제조된 WO3 나노시트의 광흡수 범위는 자외선 대역에 집중되어 있으며, 330~440 nm 파장의 빛에 대해 강한 흡수 능력을 가진다. WO3 나노시트를 작동 전극으로 하여 자외선 검출기를 제작하였으며, 테스트 결과 WO3 나노시트 자외선 검출기는 외부 바이어스 없이 자외선을 효과적으로 검출할 수 있고 자가 전원 특성을 가지고 있음을 보여주었다. 검출기의 광전 성능은 높은 광응답 전류(약 171 μA)와 빠른 응답 특성(상승 시간 약 25.7 ms, 하강 시간 약 38.7 ms)을 나타내며, 여러 번의 자외선 켜짐/꺼짐 반복에서도 우수한 안정성과 반복성을 유지한다.

关键词

자외선 검출기;삼산화텅스텐;나노시트;수열법

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