미세 변위 워크스테이지는 고정밀 위치 결정을 실현하는 핵심 부품입니다. 기존 워크스테이지는 자유도가 적고 분해능이 높지 않아 응용 요구를 충족하지 못합니다. 따라서 6자유도 고정밀 미세 변위 워크스테이지 구조 방안을 제안하고 그 성능을 검증하였습니다. 전체 구조에서는 "직렬 및 병렬 하이브리드 구동" 방식과 중공 구조를 채택하여 6자유도의 운동을 병진층, 회전층, 지지층 3층 구조에 합리적으로 분산시키고, 워크스테이지의 운동 제어 시스템과 호환 가능한 운동 제어 소프트웨어를 설계 및 개발하였습니다. 실험 결과 X, Y, Z 축의 선형 변위가 각각 20 μm, 20 μm, 37 μm보다 우수하고, 각도 변위 범위가 각각 39″, 33″, 27″보다 우수하며; 선형 변위 분해능이 0.7 nm보다 우수하고 각도 변위 분해능이 0.1″보다 우수합니다. 제안된 6자유도 미세 변위 워크스테이지는 기존 워크스테이지에 비해 자유도가 많고 매우 높은 분해능 등의 장점이 있어 초정밀 가공, 마이크로 전자 제조 등 분야에서 널리 응용될 전망입니다.

미세 변위 워크스테이지;아원자 분해능;6자유도;운동 제어 시스템