펄스 압축 격자는 고에너지 레이저를 구현하기 위한 핵심 광학 부품으로, 제조 과정에서 발생하는 표면 오염물과 미세구조 결함이 고출력 레이저 시스템 발전의 기술적 병목 현상이 되고 있다. 격자의 레이저 유도 손상 한계를 향상시키기 위해 자기 복합 유체를 이용한 펄스 압축 격자(PCG) 후처리 연마 연구가 제안되었다. 연마 전후 격자 샘플의 미세 구조, 표면 형상, 표면 거칠기, 회절 효율 및 레이저 유도 손상 한계 등의 매개변수를 측정하여 연마 전후 격자 표면 품질 및 격자 성능을 평가하였다. 연구 결과, 자기 복합 유체 연마는 실제 격자 구조를 손상시키지 않으면서 가공 과정에서 발생하는 버 및 미세구조 결함을 억제할 수 있음을 발견하였다; 3분 연마 후 격자 상부 표면 거칠기가 21.36 nm에서 3.73 nm로 감소하였고; 레이저 유도 손상 한계는 2.8 J/cm²에서 3.8 J/cm²로 향상되어 레이저 손상 저항성이 35.7% 향상되었으며, 회절 효율에는 영향을 주지 않았다. 실험 결과는 자기 복합 유체 연마가 격자 부품 표면 품질을 개선하고 광학 성능을 향상시키는 효과적인 방법임을 보여준다.

펄스 압축 격자;다층 유전체막 격자;자기 복합 유체;레이저 유도 손상 한계;표면 형상