고주파 위상 레이저 거리 측정 시스템의 고정밀 위상 감지

MENG Yuxuan ,  

DONG Dengfeng ,  

ZHOU Weihu ,  

JI Rongyi ,  

ZHU Zhizhong ,  

摘要

위상 거리 측정은 매우 중요한 절대 거리 측정 수단으로서 대형 정밀 측정의 중요한 보장입니다. 레이저 변조 주파수를 높이고 고성능 장치를 사용하여 고주파 샘플링 분석을 구현하는 것은 위상 레이저 거리 측정 정확도를 향상시키는 가장 효과적인 방법 중 하나입니다. 고성능 장치의 최대 샘플링 주파수가 항상 제한되어 고변조 주파수 샘플링 문제를 충족하기 어렵기 때문에, 저샘플링 방법이 위상 거리 측정에 적용 가능한지 분석하고 검증하였으며, 전위상 푸리에 스펙트럼 분석법(all-phase Fast Fourier Transform, apFFT)이 위상 감지 정확도를 향상시키는 장점을 시뮬레이션 분석하였습니다. 이를 기반으로 "저샘플링 + apFFT" 방법을 제안하고 레이저 위상 거리 측정 위상 감지 시스템을 구축하였습니다. 변조 주파수가 201 MHz이고 저샘플링 주파수가 100 MHz일 때, 시스템 위상 감지 정확도는 ±0.04° 이상이며, 이에 해당하는 거리 측정 정확도는 ±0.08 mm입니다. 실험 결과, "저샘플링 + apFFT" 기반 위상 거리 측정 방법은 고정밀도와 강한 간섭 저항 특성을 가지며 과학 연구와 공학 응용에서 중요한 가치를 갖습니다.

关键词

위상 거리 측정;저샘플링;전위상 스펙트럼 분석법;고정밀;위상 감지 시스템

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