원추면 거울 마그네토르올로지 연마 제거 함수 왜곡 법칙 분석 및 연역

YANG Jun ,  

FAN Wei ,  

HAI Kuo ,  

ZHANG Yunfei ,  

HUANG Wen ,  

摘要

마그네토르올로지(polishing)은 원추면 저손상 및 형상 오차 효율적 억제를 실현하는 중요한 공정이다. 그러나 원추면 마그네토르올로지 연마 제거 함수는 심각한 왜곡과 복잡한 왜곡 규칙을 가지며, 기존 방법은 제거 함수 모델을 직접 효과적으로 구축하기 어렵고, 이로 인해 형상 수렴 효율이 낮다. 본 논문은 원추면 곡률 효과가 마그네토르올로지 연마 제거 함수 왜곡에 미치는 영향 메커니즘을 분석하고, 평균 곡률에 대한 표준화 특성 매개변수의 해석 규칙을 연구하며, 평면에서 원추면으로의 마그네토르올로지 연마 제거 함수 연역 방법을 확립하였다. 이 방법은 원추면 제거 함수의 길이와 너비, 체적 제거율, 정점 제거율 변화 규칙을 통합하여 연역에 포함시켜, 원추면 곡률 효과 하에서 마그네토르올로지 연마 제거 함수의 왜곡 특성을 보다 포괄적으로 반영하고, 동시에 이화학적 특성 매개변수 측정 및 복잡한 방정식과 비선형 문제 해결을 피하며, 실제 작업 조건에서 원추면 제거 함수 연역에 효과적이고 저비용인 방법을 제공한다. 반복 점검 실험 결과 원추면 제거 함수 특성 매개변수 연역 오차는 3.20%~12.02% 범위이며, 본 연역 방법의 높은 적용성을 입증하였다.

关键词

원추면 거울; 마그네토르올로지 연마; 제거 함수 연역 방법; 특성 매개변수; 평균 곡률

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