초정밀 장비에서 다자유도 작업대의 효율성과 정밀도를 향상시키기 위해 나노 정밀도 요구사항을 만족시키면서 엔지니어링 조정 및 통합 효율을 높이는 다자유도 작업대용 궤적 계획 방안을 제안하였다. 이전 공정의 적용 시나리오와 기전 시스템 능력을 분석 및 기술하고, 궤적 계획의 난점을 집중적으로 다루며 제어 매개변수 조정 및 궤적 동역학 제약 매개변수 결정 방법을 제시하였다. 차분 진화 알고리즘을 통해 피드백 제어기 매개변수를 조정하고, 제어기의 실제 추적 효과와 적용 요구사항을 최적화 목표로 하여 몬테카를로 알고리즘을 사용하여 기준 궤적을 최적화 반복하였다. 마지막으로 기존 엔지니어링 조정과 실험 비교를 수행하였다. 실험 결과, 작업대 스캔 운동의 반복 위치 정밀도가 <inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mo>±</mo><mn mathvariant="normal">5</mn><mtext> </mtext><mi mathvariant="normal">n</mi><mi mathvariant="normal">m</mi><mo>/</mo><mn mathvariant="normal">3</mn><mi>σ</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/AEBD9A0E-8AD3-4346-9D5E-37256CC6BE16-M001.jpg"/><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/AEBD9A0E-8AD3-4346-9D5E-37256CC6BE16-M001c.jpg"/></alternatives></inline-formula> 요구 조건을 만족하는 상태에서, 본 논문에서 제안한 방안은 추적 오차가 빠르게 수렴하도록 하며, 조정 횟수를 약 90% 감소시킨다. 이 방안은 초고정밀 운동 위치 정밀도를 보장하는 동시에 엔지니어링 조정 및 통합 효율을 효과적으로 향상시킬 수 있다.

초정밀 시스템; 궤적 계획; 몬테카를로 알고리즘; 추적 제어; 다자유도 결합