CrAlN 박막과 기판 간의 결합 강도를 개선하고 내마모성을 향상시키기 위해. 음극 아크 스퍼터링 기술을 이용하여 45강 기판 위에 CrAlN 박막을 증착하였다. 자기장과 타겟-기판 거리의 CrAlN 박막 성능에 대한 작용 기전을 분석하고, 자기장이 박막의 두께, 표면 형태, 결합력 및 내마모성에 미치는 영향을 조사하였으며, 자기장이 없을 때 증착된 박막과 비교하였다. 결과는 다음과 같다: 박막 두께, 표면 거칠기, 액적 증착 크기 및 수가 타겟-기판 거리가 증가함에 따라 감소하였다; 무자기장 샘플에 비해 자기장 샘플은 표면 거칠기가 더 낮고 곡률 반경이 더 크며 결합력이 향상되었다. 자기장 하에서 계면 결합력은 약 60 N이며 타겟-기판 거리 변화에 크게 영향받지 않았으나 무자기장 시 결합력이 크게 변하였다. 동일 조건에서 비교 시 결합력이 20%에서 80%까지 향상되었다; 박막 마찰계수와 마모율은 타겟-기판 거리가 증가할수록 감소하였고, 동일 거리에서는 자기장 샘플의 마찰계수와 마모율이 더 낮았다. 자기장이 존재하고 타겟-기판 거리가 160~180 mm일 때, 증착된 CrAlN 박막의 성능이 최적이었다. 이 연구 결과는 더 높은 성능의 CrAlN 박막 제조에 중요한 참고 자료를 제공한다.

자기장;타겟-기판 거리;액적;결합력;마모율