이중 광탄성 연속 차주파 변조 기반 응력 이중굴절 2차원 분포 측정

LI Kewu ,  

QIU Yuanfang ,  

CUI Zhiying ,  

MAO Lei ,  

WANG Zhibin ,  

KUANG Cuifang ,  

摘要

광학 재료 및 광학 부품의 빠르고 고정밀한 응력 이중굴절 테스트 평가 분석을 실현하기 위해 본 논문에서는 이중 광탄성 연속 차주파 변조 기반의 응력 이중굴절 2차원 분포 측정 방안을 제안하였다. 서로 다른 주파수에서 작동하는 두 개의 광탄성 변조기를 연속으로 연결하여 편광 측정 장치를 구성하였다. 광학 재료 및 부품의 응력 이중굴절 지연량과 빠른 축 방위각 매개변수가 편광 측정 장치의 변조 신호에 부여되었고, 디지털 위상잠금 기술을 이용하여 변조 신호의 기본 주파수 항과 차주파수 항을 추출한 후 응력 이중굴절 지연량과 빠른 축 방위각 두 매개변수를 구하였다. 원리 분석에 따라 테스트 시스템을 개발하고 시스템 초기 오프셋 값을 보정하였으며, 웨이브플레이트를 이용하여 측정 정확도 및 반복성 테스트를 수행하였고 BK7 유리 샘플의 응력 이중굴절 분포 측정 실험을 완료하였다. 실험 결과 본 시스템의 빠른 축 측정 반복성은 0.01°, 이중굴절 지연량 측정 반복성은 0.02 nm이며, 단일 데이터 포인트 측정 시간은 200 ms 미만이다. 본 방안은 고속, 고정밀 및 높은 반복도의 응력 이중굴절 측정을 실현하였으며, 응력 이중굴절 2차원 분포 측정 능력을 갖추어 웨이브플레이트, 유리 또는 결정체 등의 광학 재료의 이중굴절 측정 분석 및 평가에 유효한 수단을 제공한다.

关键词

광탄성 변조; 차주파 변조; 응력 이중굴절; 지연량; 빠른 축 방위각

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