전해중간가공(ELID) 연삭숫돌의 산화막은 보조 연마 성능을 가지고 있어 연삭 표면 품질 향상에 매우 중요한 의미가 있다. ELID 연삭숫돌 표면 산화막의 계면 반응 및 복합 연마립 형성 메커니즘을 분석하였으며, X-선 회절(μ-XRD) 미소 영역 분석 및 전자 에너지 분광기(XPS)를 이용하여 복합 연마립의 조성 성분과 복합 영역을 시험하였고, 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)으로 형태, 입도, 미세구조를 연구하였다. 연구 결과 산화막 내 복합 연마립은 연마립을 중심으로 하여 중심에서 가장자리까지 성분이 차례로 α-Fe₂O₃, γ-Fe₂O₃, FeO(OH), Fe(OH)₃ 등의 산화물 복합 구조임을 나타내었다. 복합 연마립 표면에 형성된 산화막은 층층이 쌓인 양파 모양 구조를 가지며 연삭 탈수 후에는 거북 등껍질 같은 균열이 생긴다. 복합 연마립의 형태는 대체로 타원형에 가깝고 입도는 11.5 μm에서 50 μm에 이른다. 여러 개의 복합 연마립이 산화막 내에서 연속적으로 망상 구조를 형성하며, 이 망상 구조는 산화막 보조 연마에 유리하며 복합 연마립은 연마립 입도 및 α-Fe₂O₃ 층 두께에 해당하는 폭을 효과적으로 제거한다.

ELID 연삭; 산화막; 계면 반응; 복합 연마립; α-Fe₂O₃