디지털 마이크로미러 장치 기반 분광 이미징 기술 발전

SHI Yingchao ,  

ZHANG Luming ,  

CHEN Fei ,  

YUAN Weizheng ,  

YU Yiting ,  

摘要

디지털 마이크로미러 장치(DMD)는 유연하고 프로그래머블하며 독립적으로 주소 지정이 가능한 공간 광 조절 장치로, 마스크 없는 노광, 빔 성형, 홀로그래픽 이미징, 공초점 측정 등 다양한 분야에서 널리 활용되고 있습니다. 분광 이미징 분야에서 DMD는 이미징 시야를 정밀하고 제어 가능하게 변조할 수 있어 전통적인 기계식 마스크와 기계식 스캐닝 구조를 대체합니다. 본 논문에서는 최근 DMD의 분광 이미징 분야 연구 진전과 응용을 개괄하며, DMD 기반의 코딩 구경 및 푸시스캔 분광 이미징 시스템의 광학 시스템 기본 구조 및 작동 원리를 상세히 논의합니다; 또한, 하다마 변환 분광 이미징에서 푸시스캔 분광 이미징으로 발전해 온 DMD 기반 분광 이미징 시스템의 발전 경로를 정리합니다; DMD 마이크로미러의 회절 및 이미지면 기울기 등 수차 극복을 위한 관련 연구도 자세히 소개합니다. 마지막으로 DMD 기반 분광 이미징 기술의 독특한 장점을 요약하고 향후 발전 방향 및 응용 전망을 논의합니다.

关键词

디지털 마이크로미러 장치; 분광 이미징; 코딩 구경; 하다마 변환; 푸시스캔

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