2차원 선형 모듈의 운동 오차를 실시간으로 감지하기 위해 오차 실시간 측정 시스템을 구축하였다. 이 시스템은 4자유도 운동 오차 측정 모듈, 롤 각도 오차 측정 모듈 및 선형 광격자로 구성되어 단일 축에서 6자유도의 운동 오차 측정을 실현한다. 균질 좌표 변환 행렬(Homogeneous Transformation Matrix, HTM) 원리를 기반으로 2차원 모듈의 공간 오차 모델을 구축하여 기능점의 실제 공간 위치를 표현하였으며, 측정 시스템 보정 실험을 완료하고 아베-브라인 원리에 따라 실험 데이터를 처리하여 비교 실험을 완료하였다. 최종적으로 측정 시스템의 위치 오차, 직선도 오차 및 각도 오차 측정 정확도는 각각 ±1.2 μm, ±1.3 μm 및 ±1″에 도달하였으며, 공간 오차 모델에 따라 2차원 선형 모듈 XZ 평면 대각선 위치의 측정 오차를 분석하였다. 결과는 2차원 선형 모듈 공간 오차 모델을 사용하여 해석한 후 XZ 평면 대각선 위치의 측정 오차가 68 μm에서 13 μm로 감소하였음을 보여주어, 해당 시스템을 사용한 선형 모듈 오차 측정이 효과적임을 입증하였다; 또한, 적재 상태에서 2차원 선형 모듈 각 위치의 운동 오차가 변화하므로 측정 시스템이 선형 모듈의 공간 오차 변화를 실시간으로 측정할 수 있음을 검증하기 위해 Z축 슬라이더에 질량 2kg의 표준 추를 장착하여 대조 실험을 진행하였다. 결과는 2차원 선형 모듈 공간 오차 모델을 사용하여 해석한 후 XZ 평면 대각선 위치의 측정 오차가 56 μm에서 14 μm로 감소하였음을 보여주었다.

오차 측정 시스템;2차원 선형 모듈;공간 오차 모델;실시간 측정