기존의 렌즈 중심 편차 측정 방법에서 측정 정확도가 낮고 렌즈 자세 조정에 인위적 간섭이 큰 문제를 해결하기 위해 차동 공초점 렌즈 중심 편차 자동 측정 방법을 제안한다. 이 방법은 차동 공초점 고정 초점 기술을 통해 차동 공초점 축광 세기 응답 곡선의 영점이 측정 대상 렌즈의 특징점에 정확히 대응한다는 특성을 이용하여 측정 대상 렌즈의 고양이 눈점 및 공초점 위치를 정밀하게 위치시킨다; 고정밀 에어 베어링 회전축으로 측정 렌즈를 회전시키고 변위 센서와 원형 광격자로 측정 렌즈의 위치 정보를 기록하며, 5차원 자세 자동 조정 메커니즘과 결합하여 측정 렌즈의 자세를 고정밀로 보정하여 자세 편차를 제거하고 측정 정확도를 향상시킨다; 최종적으로 레이저 차동 공초점 렌즈 중심 편차 자동 측정 시스템을 구축하여 렌즈 중심 편차의 고정밀 자동 측정을 실현하였다. 실험 결과 렌즈 중심 편차 측정 정확도가 0.41%에 달하며, 측정 반복성은 100 nm 이내로 우수하다. 기존 단회 수동 측정에 비해 본 방법은 측정 반복성이 우수하고 임의 오차가 작으며 측정 정확도가 높아 고정밀 렌즈 중심 편차 자동 측정을 위한 기술적 방안을 제공한다.

레이저 측정;차동 공초점;중심 편차;자동 조정;자동 측정;자세 편차