광학 렌즈의 화질 향상과 산란광 영향을 제거하기 위해 K9 유리를 기판으로 가시광선 대역에서 평균 반사율이 0.1% 이하인 반사방지막을 설계하였다. 전자빔 이온 보조 증착 방식을 채택하여 얇은 층의 민감도 증가 및 스펙트럼 변화 문제를 해결하기 위해 안정적인 막 두께 제어 수학 모델을 구축하여 막 두께 오차를 줄이고 제조 정밀도와 형성 안정성을 높였다. 반사방지막에 대해 순환 시험을 실시하고 공정 변수를 최적화하여 반사방지막의 경도 및 내수조 내구성을 향상시키는 데 중점을 두었다. 실험 결과 최종 제조된 반사방지막은 420~680nm 파장 범위에서 평균 반사율 약 0.044%, 최대 반사율 0.0712%로, MgF₂ 외층 반사방지막의 기계적 성능 및 화학적 안정성 문제를 극복하여 낮은 손실, 안정성, 고강도, 반복 제조 요구를 충족하였다.

광학 박막; 전자빔 증착; 오차 제어; 기계적 성능; 가시광선; 반사율