摘要
이트륨 알루미늄 가닛(YAG) 결정은 고체 레이저 제작에 중요한 재료이며, 초정밀 연삭은 YAG 결정과 같은 단단하고 취약한 재료 부품 가공에 중요한 방법입니다. 취약한 재료 표면의 미세 변형과 취성-소성 변태 메커니즘 연구는 초정밀 연삭 가공에 중요한 지침이 됩니다. YAG 결정의 저손상 연삭 가공과 고품질 표면 획득을 위해 탄성-소성 접촉 이론과 압흔 균열 역학을 기반으로 단일 연삭립 긁힘 작용 하 재료 표면 변형 과정을 분석하고, 탄성 회복과 미세 기계적 특성의 크기 효과를 고려하여 취성-소성 변태 임계 깊이 예측 모델을 구축하였으며, YAG 결정의 임계 깊이를 66.7nm로 계산하였습니다. 이를 바탕으로 서로 다른 입도 휠을 이용한 YAG 결정 초정밀 연삭 실험으로 예측 모델을 검증하고, 각 공정 조건에서 입자의 절삭 깊이를 계산하였습니다. 결과는 절삭 깊이가 임계 깊이보다 높을 때 YAG 연삭 표면 재료가 취성 방식으로 제거되어 심각한 손상이 발생하며, 절삭 깊이가 임계 깊이보다 낮을 때는 소성 방식으로 제거되어 표면 조도 1nm의 고품질 연삭면을 얻을 수 있음을 보여줍니다. 구축한 임계 깊이 예측 모델은 YAG 결정의 저손상 초정밀 연삭 가공에 이론적 지침을 제공할 수 있습니다.
关键词
초정밀 연삭;YAG 결정;나노 압흔;나노 긁힘;취성-소성 변태
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website