다양한 크기의 미립자를 효율적으로 분리하기 위해 삼각형 단면 미세유로의 관성 미세유체칩을 제안하고, 유로 내 입자의 집속 및 분리 특성을 연구하였다. 먼저 직각 삼각형 단면 구조의 나선형 유로를 설계하고, 정밀 마이크로 밀링 가공으로 알루미늄 몰드를 제작하였으며, 역복제 및 플라즈마 세척 접합 공정을 이용하여 미세유체 칩을 제작하였다. 다음으로 6 μm, 10 μm, 15 μm 크기의 형광 미립자 현탁액 3종을 조제하고, 고속 카메라와 형광 현미경을 사용하여 유로 내 입자의 운동 궤적을 촬영하고, 서로 다른 현탁액 유량에서 미립자 집속 효과를 관찰하였다. 마지막으로 미립자 집속 궤적 영상의 누적 분석을 통해 입자의 관성 집속 및 분리 거동을 연구하였다. 결과는 현탁액 유량이 증가함에 따라 6 μm 입자는 점차 집속되어 유로 외벽으로 이동하고, 10 μm 및 15 μm 입자 집속 다발은 유로 중심으로 이동함을 보여주었다. 현탁액 유량이 1.5 mL/min일 때, 6 μm 및 15 μm 혼합 입자는 100% 정확한 분리를 달성하였다. 연구 결과는 삼각형 단면 나선형 유로가 강한 편향된 2차 유동을 생성하여 서로 다른 크기의 미립자가 효율적이고 정밀하게 분리될 수 있음을 보여주며, 세포의 정밀 조작을 위한 새로운 기술적 수단을 제공한다.

미세유체 제어;관성 제어;삼각형 유로;입자 집속 및 분리;편향된 2차 유동