압전 구동 유연 마이크로 포지셔닝 플랫폼의 고정밀 제어가 플랫폼의 불확실한 동적 모델에 의존하는 문제를 제거하기 위해, 데이터 기반 무모델 반복 피드포워드 보상과 적응형 밴드스톱 필터를 결합한 제어 방법이 제안되어 플랫폼의 추적 성능을 향상시켰다. 먼저, 노이즈 및 기타 간섭에 대한 시스템의 강인성을 향상시키기 위해 데이터 기반 무모델 반복 피드포워드 제어기를 구축하였고, 무모델 반복 피드포워드 작용 하에서 연속 참조 입력 추적 오차의 유계성과 폐쇄 루프 시스템의 안정성을 증명하였다. 둘째, 플랫폼 공진의 영향을 제거하기 위해 적응형 밴드스톱 필터를 구축하고, 오차 신호에 대해 고속 푸리에 변환을 수행하였으며, 공진 주파수 온라인 추출 알고리즘을 설계하여 밴드스톱 필터 매개변수를 온라인 실시간 조정하여 궤적 추적 정확도를 더욱 향상시켰다. 마지막으로, 설계된 무모델 반복 피드포워드 제어기와 적응형 밴드스톱 필터를 사용하여 압전 미동대를 궤적 추적 실험에 적용하였다. 실험 결과는 삼각파 신호 추적 시, 단독 비례-적분(PI) 제어 및 적응형 밴드스톱 필터가 결합된 PI 제어에 비해 최대 추적 오차가 각각 78.25% 및 70.83% 감소하여 플랫폼의 안정성과 추적 정확도를 효과적으로 향상시켰음을 보여준다.

압전 미동대; 데이터 기반 반복 피드포워드; 온라인 공진 억제; 적응형 밴드스톱 필터