摘要
기내 탑재 탐지 시스템의 대시야 광학 이미징 수요를 위해 대시야 광학 이미징 시스템의 광학 설계, 자유 곡면 광학 부품의 초정밀 가공, 형상 및 위치 오차 동기 검출, 시스템 통합 및 이미징 실험 연구를 수행하였다. 먼저 시야 확장법을 사용하여 대시야 자유 곡면 오프축 반사 광학 시스템을 설계하였으며, 다음으로 알루미늄 합금 자유 곡면 반사경의 나노 정밀 가공과 고주파 억제 공정을 탐색하였고, 계산 홀로그램 소자를 기반으로 자유 곡면 형상 고정밀 검출을 실현하였다. 마지막으로 광학 시스템의 조립 통합 및 이미징 실험을 진행하였다. 결과는 시스템의 시야각이 30°×5°이며, 전체 시야 광학 전송 함수 값이 0.7 이상으로 회절 한계에 근접하고, 최대 픽셀 평균 제곱근 반경이 2.075 μm, 자유 곡면 광학 부품의 면 정밀도 평균 제곱근 (RMS) 값이 20 nm 이하이며, 위치 정밀도가 1 μm 이하로 대시야 고해상도 장면 사용 요구를 충족하고 안정적이고 신뢰성이 높으며 빠른 제조 특성을 갖추고 있음을 나타낸다.
关键词
광학 초정밀 가공; 자유 곡면; 계산 홀로그램 보상 검출; 이미징 시스템
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