극자외선 다층막 반사경은 극자외선 리소그래피, 천체물리학, 플라즈마 진단, 애초물리학, 자유전자 레이저 등 다양한 과학 및 기술 분야에서 중요한 응용을 가지고 있다. 다층막은 극자외선 대역에서 정입사 조건에서 높은 반사율과 좁은 대역폭을 가능하게 한다. 다층막 반사경은 극자외선 이미징 및 분광 응용에 중요한 장치이며, 다층막으로 구성된 극자외선 이미징 시스템은 여러 태양 단일 스펙트럼 라인의 영상 관측에 성공적으로 완료되었다. 본 문헌은 40~90 nm 대역에서 가장 유망한 다층막 연구 진행 상황을 검토한다. 우선 다층막의 기본 원리를 간략히 소개하고, 40~90 nm 대역 물질의 광학 상수 측정을 설명하며, Mg 기반, Sc 기반 및 란타넘족 재료와 기타 재료로 구성된 다층막의 진전 상황을 요약한다. 현재까지 달성한 최고 반사율과 대역폭을 제시하고, 다층막의 시간적 안정성을 밝히며, 40~90 nm 대역 다층막 제작을 위한 기술 지침을 제공한다.

광학 박막;극자외선;다층막;협대역;고반사율