기존 구면 형상 간섭 측정에서 측정 대상 자세를 수동으로 조정할 때 정밀도가 낮고 속도가 느린 문제를 해결하기 위해 레이저 공초점 간섭 형상 빠르고 고정밀 자동 측정 방법을 제안하였다. 이 방법은 공초점 정밀 초점 기술을 통해 측정 대상의 공초점 위치를 고정밀 축 방향으로 위치 결정하였으며, 5차원 자동 조정기를 통해 측정 대상 자세를 조정하여 고정밀 횡 방향 위치 결정을 실현하였다. 또한 Zernike 보정을 통해 측정 대상을 정밀 조정하여 디포커스 오차 및 기울기 오차를 줄이고 간섭 형상의 제로 프린지를 조정하였다. 최종적으로 레이저 공초점 간섭 형상 자동 측정을 실현하였다. 레이저 공초점 간섭 형상 측정 시스템을 구축하였으며, 실험 결과 이 방법의 형상 측정 결과는 Zygo 간섭계 측정 결과와 0.0006 λ 차이가 나고, 반복 측정 정밀도는 0.0019 λ에 달하며, 평균 단일 간섭 형상 측정 시간은 16.5초로 수동 제로 프린지 조정 대비 측정 효율이 1.56배 향상되었다. 이 방법은 간섭 형상의 빠르고 고정밀 측정을 위한 효과적인 수단을 제공한다.

레이저 공초점 측정; 위상 이동 간섭; 공초점법; 자세 조정; Zernike 보정; 자동 측정