레이저 트래커 기하학적 구조 오차 보정 및 수정

WANG Shan ,  

ZHANG Zili ,  

DONG Dengfeng ,  

ZHOU Weihu ,  

JI Rongyi ,  

PAN Yingling ,  

WANG Guoming ,  

CUI Chengjun ,  

摘要

레이저 트래커 좌표 측정 정확도를 향상시키기 위해 트래커의 기하학적 구조 오차를 분석하고, 수평 및 수직 축 이동 오차, 축의 기울기 오차, 레이저 이동 오차 및 기울기 오차의 보정 및 수정 방법을 연구하였다. 기하학적 분석법을 이용하여 기하학적 구조 오차 모델을 구축하였으며, 투영 영상 측정기와 검사봉, PSD를 기반으로 기하학적 오차 매개변수 보정 장치를 구성하여 기하학적 오차를 빠르고 자동으로 고정밀 보정 및 보상할 수 있게 하였다. 마지막으로 오차 보정 실험에서 측정된 기하학적 오차를 오차 보상 모델에 대입하고 규격자의 길이와 비교 분석하였다. 실험 결과, 기하학적 오차 수정 후 트래커 좌표 측정 오차가 13 μm/m에서 4 μm/m 이하로 감소하여 측정 정확도가 약 9 μm/m 향상되었으며, 기하학적 오차 보정 및 수정 방법의 타당성을 검증하였다. 이 방법은 레이저 트래커의 좌표 측정 정확도를 높일 수 있다.

关键词

레이저 트래커; 기하학적 구조 오차; 오차 보정; 오차 수정; 최소자승법

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