고정밀 평면 간섭계 시스템 평가 기준에서 계측기 전달 함수(Instrument Transfer Function, ITF)는 간섭계 성능의 중요한 평가 지표로 점차 자리 잡았으며, 이는 광학 시스템이 측정 형상의 다양한 공간 주파수를 해상할 수 있는 능력을 정확하게 반영한다. 그러나 ITF 테스트 과정의 실험 환경 요구사항은 까다로우며, 간섭계 시스템의 잡음은 테스트 결과에 큰 왜곡을 초래할 수 있다. 간섭계 시스템의 성능을 정확히 나타내기 위해 시뮬레이션 분석과 실제 실험을 결합하여 서로 다른 정도의 가우시안 임의 잡음을 시뮬레이션 간섭 영상에 도입하고, 잡음이 ITF 테스트 결과에 미치는 영향을 조사하였다. 테스트 오차 평가 지표인 ITF_RMS 값을 제안하고, 간섭계 시스템의 잡음 허용 한계를 분석하였으며, 평가 지표에 근거하여 여러 가지 ITF 테스트 최적화 방법을 제안하고 실험 시스템을 구축하여 분석 및 검증하였다. 실험 결과, 최적화 전 ITF 테스트 절차에서 구축된 간섭계 시스템의 ITF_RMS 값은 0.1112였으며, 최적화 후 동일 잡음 수준에서 ITF_RMS 값은 각각 0.0693, 0.0367, 0.0579로 감소하였다. 이 결과는 최적화 방안의 타당성을 입증하며, 해당 방안은 간섭계 시스템 ITF 테스트 과정에서 잡음 간섭 영향을 효과적으로 억제할 수 있음을 보여준다.

간섭 측정; 피조 간섭계; 계측기 전달 함수; 잡음 허용 한계