마이크로렌즈와 검출기 칩의 통합 응용은 검출기의 광에너지 이용 효율을 향상시켜 검출기의 민감도를 높일 수 있다. InP 기반 InGaAs 단일광자 적외선 검출기 두 종류에 대해 각각 갈륨인화물과 실리콘 재료로 된 두 가지 사각형 구경 마이크로렌즈 배열을 설계하였다. 마이크로렌즈 배열 구조 매개변수 설계 과정과 각 단계의 설계 요점을 소개하였으며, 광선 추적 소프트웨어를 사용하여 설계된 마이크로렌즈 배열 구조 매개변수를 시뮬레이션 검증하여 두 가지 배열 모두 설계 요구사항을 충족함을 확인하였다. 단계측정기와 공초점 현미경으로 제작된 두 가지 마이크로렌즈 배열의 형상을 검사하였고, 두 배열의 곡률 편차는 각각 1.38%와 3.44%로 계산되었다. 1.064 μm 파장에서 두 마이크로렌즈 배열의 공기 중 초점거리를 실험적으로 측정하였으며, 시뮬레이션 결과와 비교하여 초점거리 편차는 5.69%와 2.76%였다. 마이크로렌즈 제작 공정을 분석한 결과 두 가지 편차는 응용 요구를 충족하였다.

마이크로렌즈 배열;광 검출기;광에너지 이용 효율;직사각형 구경