압전 세라믹의 이력 현상과 비선형 특성이 압전 마이크로 위치 제어 플랫폼의 정밀도에 미치는 영향을 억제하기 위해, 압전 세라믹 액추에이터의 주파수 의존적 이력 비선형 특성을 반영하는 Hammerstein 모델을 구축하였다: 비대칭 Bouc-Wen 모델을 이용하여 정적 이력 비선형성을 나타내고 동적 선형 모델로 신호 주파수의 영향을 특성화하였다. 이력 보상기가 완전한 보상을 수행하지 못하고 실험 장비에 잡음 간섭이 존재하는 문제를 해결하기 위해 칼만 필터 기반 예측 제어를 채택하여 압전 마이크로 위치 제어 플랫폼의 제어 정밀도를 향상시켰다. 예측 제어는 역보상 오차와 모델링 오차 등 모델 불확실성의 영향을 줄이기 위해 사용되며, 칼만 필터는 시스템 상태 추정 값을 얻는데 사용된다. 실험 결과, 정현파 신호에서 상대 추적 오차가 0.68% 미만이고, 삼각파 신호에서는 0.70% 미만임을 보였다. 이력 보상을 기반으로 칼만 필터 예측 제어가 적용되어 이 방법은 마이크로 위치 제어 플랫폼의 고정밀 추적을 효과적으로 수행할 수 있다.

예측 제어;칼만 필터;압전 세라믹 액추에이터;Hammerstein 모델