비동축 병렬 컬러 공초점 측정 시스템에서 측정 대상 물체 표면이 기울어졌을 때 발생하는 측정 오차를 보정하기 위한 오차 보상 방법을 제안하였다. 이 방법은 두 개의 표준 게이지 블록으로 구성된 계단을 측정 대상으로 사용하여 실험을 수행한다. 우선 샘플을 수평 방향으로 이동시키고, 수집된 표면 높이 데이터를 직선에 적합시켜 기울어진 표면의 선형 방정식을 얻는다. 이후 기울어진 표면 선의 기울기와 기울기 각도 사이의 관계를 이용해 표면 기울기 각도를 도출하고, 삼각 함수 관계를 통해 각 데이터 포인트의 오차를 계산한다. 최종적으로 보상을 통해 표면 기울기로 인해 발생한 데이터 오차를 제거한다. 컬러 카메라가 반사된 스펙트럼 신호를 포착할 수 있도록 측정 대상 물체의 기울기 각도를 지속적으로 조정하여, 측정 대상 표면 기울기 각도를 [-4°, 4°] 범위 내로 설정하였다. 이 범위 내에서 다양한 기울기 각도에서의 오차 보상 실험을 수행하였으며, 예를 들어 4° 기울기 각도에서 보상 후 계단 높이 측정 평균값은 101.92 μm이고, 상대 오차는 3.00%이며, 시스템의 측정 정확도는 마이크로미터 수준에 도달할 수 있다.

광학 측정;컬러 공초점 측정;기울기 각도;높이 측정;오차 보상