Zigzag 유연 스프링을 가이드 기관으로 채용하여 대행정, 고정밀, 고주파 응답 및 저응력의 병렬식 XY 2자유도 정밀 위치 결정 플랫폼을 제안하여 정밀 운동 요구를 충족시켰다. Zigzag 유연 스프링 단위를 핵심 가이드 빔으로 하는 유연 정밀 운동 플랫폼 구조를 제안하고 음권 전동기를 사용하여 구동했으며, 3 mm × 3 mm 운동 범위와 60 Hz 이상의 고유진동수를 실현하였다. Zigzag 유연 스프링과 기존의 직선 빔 유연 스프링에 대한 유한 요소 해석을 통해 Zigzag 유연 스프링의 운동 성능 우수성을 검증하였다. 이어서 XY 2자유도 운동에 대해 디커플링 설계를 수행하여 운동에 의한 기생(결합) 오차를 줄였다. 유한 요소 해석을 통해 플랫폼을 최적화하였으며, 고주파 운동에 따른 피로 손상 문제를 해결하기 위해 위치 결정 플랫폼의 구성을 개선하여 최대 응력을 줄이고 플랫폼의 수명을 연장하였다. 분석 결과에 따르면, 본 플랫폼은 운동 및 디커플링 성능 설계 요구사항을 충족하며 기생 오차가 0.012%로, 대행정과 높은 주파수 운동을 할 수 있고 빠른 응답과 우수한 동적 특성을 갖는다. 실험 결과 플랫폼의 고유진동수는 60 Hz에 도달하며, 개루프 분해능은 1.3 μm에 이르고 XY 방향 ±1.5 mm 행정 운동이 가능함을 보여주었다.

정밀 위치 결정 플랫폼;음권 전동기;유연 기관;저응력