다중 스펙트럼 아연 황화물은 근적외선, 중적외선, 원적외선 등 다중 스펙트럼 파장대에서 높은 광학 투과율을 갖기 때문에 적외선 광학 유도 고정밀도, 광전 탐지 레이더, 기내 광전 포드를 포함한 다양한 응용 분야에서 광범위하게 사용되고 있습니다. 초고 정밀 면형을 가진 다중 스펙트럼 아연 황화물 광학 부품을 얻고 이온 빔 연마 효율을 향상시키기 위해 직교 실험 방법을 사용하여 단일 점 이온 빔 에칭 실험을 수행하였으며, 각 공정 매개변수 하의 제거 함수 특성 및 부피 제거율을 얻었습니다. 직교 실험 데이터를 직관법 및 극차법으로 분석하여 부피 제거율 최대화를 목표로 공정 매개변수를 최적화하였으며, 최적화된 공정 매개변수 조합은 다음과 같습니다: 이온 빔 전압 1,100 V, RF 출력 110 W, 가속 전압 200 V, 아르곤 유량 7 sccm, 가공 거리 30 mm. 공정 매개변수를 조절하여 다양한 이온 빔 빔 지름을 얻어 직경 80mm 아연 황화물을 조합 연마하였으며, 가공 후 아연 황화물 면형 정밀도 PV 값은 467 nm에서 71.506 nm로, RMS 값은 112 nm에서 10.758 nm로 감소하였습니다. 이상의 실험 결과는 대소 빔 직경 이온 빔 조합이 다중 스펙트럼 아연 황화물 광학 부품의 가공 효율 및 면형 정밀도를 효과적으로 향상시킬 수 있음을 보여줍니다.

아연 황화물; 이온 빔 연마; 제거 함수; 공정 최적화; 극차 분석