웨이퍼 휨 검사에서 외력에 의해 발생하는 추가 변형을 제거하고 계량하기 어려운 문제를 해결하기 위해 빠르고 고정밀의 웨이퍼 휨 산업 검사에 적합한 개선된 수직 자동 고정 방안을 제안하였다. 이 방법은 정밀한 제약과 간단한 고정 프로세스 등의 장점을 가진다. 이론 분석과 유한 요소 해석을 웨이퍼 휨 특성화 방법과 결합하여 웨이퍼 고정 설계 분석 방법을 제안하였고, 주요 설계 매개변수와 웨이퍼 추가 휨의 관계를 도출하였다. 이를 통해 수직 고정 장치 주요 매개변수의 정방향 설계를 실현하였으며, 설계 결과를 기반으로 반복 고정 검증 실험을 수행하였다. 분석 및 실험 결과, 웨이퍼 자세 기울기 각도가 0.02° 미만이고, 하단 고정 제약 위치의 경사면 각도가 35°±1°이며, 고정력은 2N을 넘지 않고 수직 방향과의 고정력 각도가 2°를 초과하지 않을 때, 300mm 단결정 실리콘 웨이퍼의 추가 휨 굽힘도가 70nm를 넘지 않고, 휨 정도가 1000nm를 넘지 않음을 보장할 수 있다. 이 고정 방안은 정확한 제약 및 간결한 고정 프로세스 등의 장점을 가지며, 300mm 웨이퍼 고정 및 대형 광학 부품 고정의 고정밀 기하학적 형상 측정기 개발에 일정한 지침적 의미를 가진다.

웨이퍼 휨 측정; 수직 고정; 추가 변형; 유한 요소 해석