압전 플랫폼의 고정밀 명령 추종 제어를 구현하기 위해 심각한 히스테리시스 문제를 해결하고자 본 논문에서는 적응형 분수 차 슬라이딩 모드 추종 제어 방법을 제안하였다. 우선 Duhem 모델 구조에 따라 분수 차 연산자와 적응 법칙을 슬라이딩 면 설계 과정에 도입하여 슬라이딩 면의 자유도 가변성을 증가시키고 슬라이딩 면 매개변수의 적응적 조정을 구현하였으며, 둘째로 불확실성과 간섭 추정 방법을 이용하여 전통적인 슬라이딩 모드 제어기의 스위칭 항을 대체함으로써 슬라이딩 모드 제어기의 진동 문제를 해결하고 제어기의 강인성을 향상시켰다. 마지막으로 압전 플랫폼의 명령 추종 제어 실험 결과, PID 및 전통적인 슬라이딩 모드 제어 방법에 비해 제안된 적응형 분수 차 슬라이딩 모드 제어기의 명령 추종 오차가 80% 이상 감소하였으며, 50 Hz 기준 명령 신호 하에서 적응형 분수 차 슬라이딩 모드 제어기가 압전 플랫폼의 평균 추종 오차를 0.41 μm로 낮추었다. 따라서 적응형 분수 차 슬라이딩 모드 제어 방법은 더욱 우수한 추종 성능을 갖는다.

압전 플랫폼;히스테리시스 비선형;적응 제어;분수 차;슬라이딩 모드 제어