격자 간섭 측정은 높은 해상도, 강한 간섭 저항력, 다자유도 확장성의 장점을 가진 중요한 정밀 나노 측정 기술로, 첨단 노드 노광기와 초정밀 공작기계 등 다양한 분야에서 중요한 역할을 합니다. 격자 간섭, 레이저 간섭 및 시간 격자 측정 기술을 비교하여 각각의 적용 분야와 현재 성능 매개변수를 명확히 설명하였고, 격자 간섭 측정에서 영차 및 외차 두 가지 기술 원리를 설명하였습니다. 이를 바탕으로 국내외 격자 간섭계의 발전 동향을 분석하였으며, 대표적인 장비 제조업체와 최근 나노 및 아원자 수준의 단일 및 다자유도 시스템 연구개발 현황을 포함하였습니다. 더 나아가 격자 간섭 측정의 정밀도와 오차를 분석 및 논의하였으며, 오차 원인, 분류 및 대상별 보상 방법을 소개하였습니다. 마지막으로 격자 간섭계의 발전 현황과 미래 전망을 논의하여 격자 간섭계 시스템 개발 및 최적화에 참고가 되기를 기대합니다.

정밀 측정;나노 측정;격자 간섭계;다자유도;오차 보상